Tyhjiöpumpun suorituskykyä testataan yleensä sellaisilla tekijöillä kuin huipputyhjiö, pumppausnopeus/purkaustilavuus, painetestaus, melutaso ja huoltopalvelu-.
1. Pumppausnopeus: Tyhjiöpumpulla on tietty pumppausnopeus, joka pystyy poistamaan kaasun lyhyessä ajassa.
2. Kryogeeninen suorituskyky: Joillekin edustaville kryogeenisille kaasuille, kuten helium ja vety, vaaditaan korkea pumppausnopeus.
3. Tiivistyskyky: Hyvä tiivistyskyky on välttämätöntä tyhjiöpumpun normaalin toiminnan varmistamiseksi.
4. Korroosionkestävyys: Tyhjiöpumput altistuvat kaasuille pitkäaikaisen-käytön aikana, joten hyvä korroosionkestävyys on välttämätön.
5. Melunhallinta: Tyhjiöpumput aiheuttavat melua käytön aikana, joten melunhallintaa tarvitaan.
